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标题
Effects of nitrogen flow ratio on the mechanical and anticorrosive properties of cosputtered (TiZrHfTa)Nx films
氮气流量比对共溅射(TiZrHfTa)Nx薄膜力学和防腐性能的影响
相关领域
材料科学 纳米压痕 复合材料 薄膜 化学计量学 微晶 弹性模量 溅射 分析化学(期刊) 冶金 纳米技术 化学 有机化学 色谱法
网址
DOI
10.1016/j.surfcoat.2024.130410 doi
其它 期刊:Surface & Coatings Technology
作者:Tzu-Yu Ou; Li-Chun Chang; Muthaiah Annalakshmi; Jyh‐Wei Lee; Yung-I Chen
出版日期:2024-01-11
求助人
正方形圆 在 2025-09-01 18:22:20 发布自陕西,悬赏 10 积分
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