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Realizing Ultrauniform Films at Wafer Scale through the Magnetron Sputtering Method
磁控溅射法在晶片尺度上实现超均匀薄膜
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期刊:Crystal Growth & Design 作者:Zhengwang Cheng; Ruo-Yue Fan; Aobo Wang; Quanshen Li; Jiadi Yu; et al 出版日期:2023-12-05 |
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