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 A novel double-density, single-gate vertical channel (SGVC) 3D NAND Flash that is tolerant to deep vertical etching CD variation and possesses robust read-disturb 一种新型双密度、单栅极垂直通道(SGVC)3D NAND闪存，可容忍深度垂直蚀刻CD变化并具有鲁棒的读取干扰
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