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 Effect of photocatalysts on electrochemical properties and chemical mechanical polishing rate of GaN 光催化剂对GaN电化学性能和化学机械抛光速率的影响
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期刊：Materials Science in Semiconductor Processing 作者：Xuan Yu; Baoguo Zhang; Ru Wang; Zhengxiao Kao; Shenghua Yang; et al 出版日期：2020-08-20 |
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