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 Usage of dry processes for the formation of diffractive structures on Ti and Ti/Si films 使用干法在Ti和Ti/Si薄膜上形成衍射结构
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材料科学
反应离子刻蚀
激光器
干法蚀刻
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期刊： 作者：В. П. Корольков; Roman I. Kuts; Anatoly I. Malyshev; Dmitrij A. Belousov; А. Е. Маточкин 出版日期：2021-09-09 |
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Lannon
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