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 Realization of a micro pressure sensor with high sensitivity and overload by introducing beams and Islands 引入梁和岛实现高灵敏度和过载的微压力传感器
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期刊：Microsystem Technologies 作者：Zhongliang Yu; Yulong Zhao; Lili Li; Cun Li; Yan Liu; et al 出版日期：2014-06-19 |
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