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Towards industrial in-field optical metrology: A wavefront aberrations retrieval technique through single-frame interferogram 相关领域
波前
计算机科学
计量学
干涉测量
光学(聚焦)
自适应光学
均方根
光学像差
灵敏度(控制系统)
人工智能
光学
波前传感器
过程(计算)
准确度和精密度
观测误差
计算机视觉
深度学习
相位恢复
泽尼克多项式
变量(数学)
均方误差
快速傅里叶变换
傅里叶变换
电子工程
自动对焦
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期刊:Measurement 作者:Miao Li; Kun Liu; Zhenyu Wang; Jinghua Yu; Xianlei Liu; et al 出版日期:2025-12-11 |
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