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标题
First-Principles Study of N2 or H2/N2 Plasma Pretreatment: Effects on the Interface Properties in Si3N4/AlN/GaN MIS-HEMTs
网址
http://xplorestaging.ieee.org/ielx8/16/11494182/11481509.pdf...
DOI
10.1109/ted.2026.3678928 doi
其它 期刊：IEEE Transactions on Electron Devices
作者：Jiaofen Yang; Ming Tao; Jing Xiao; Kai Tang; Yilan Chen; et al
出版日期：2026-05-01
求助人
uss 在 2026-09-30 05:32:05 发布自美国，悬赏 10 积分
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