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Tackling residual tensile stress in AlN-on-Si nucleation layers via the controlled Si(111) surface nitridation
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作者
Denis Milakhin,
Т. В. Малин,
V. G. Mansurov,
Yan Maidebura,
Dmitriy D. Bashkatov,
Ilya Milekhin,
S. V. Goryaĭnov,
В. А. Володин,
И. Д. Лошкарев,
V. I. Vdovin,
А. К. Гутаковский,
Sergey Ponomarev,
К. С. Журавлев
出处
期刊：
Surfaces and Interfaces
[Elsevier BV]
日期：2024-07-19
卷期号：51: 104817-104817
被引量：5
标识
DOI：10.1016/j.surfin.2024.104817
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