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Vapour pressure measurement of metal organic precursors used for MOVPE

三甲基镓化学蒸汽压金属分析化学（期刊）热力学金属有机气相外延有机化学外延物理图层（电子）

作者

Michal Fulem,Květoslav Růžička,Vlastimil Růžička,T. Šimeček,E. Hulicius,J. Pangrác

出处

期刊：The Journal of Chemical Thermodynamics [Elsevier BV]
日期：2005-11-03 卷期号：38 (3): 312-322 被引量：23

标识

DOI：10.1016/j.jct.2005.05.018

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