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Effect of crystal structure on optical properties of TiO2 films grown by atomic layer deposition

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作者
Jaan Aarik,Aleks Aidla,Alma‐Asta Kiisler,Teet Uustare,Väino Sammelselg
出处
期刊：Thin Solid Films [Elsevier BV]
日期：1997-08-01 卷期号：305 (1-2): 270-273 被引量：274
标识
DOI：10.1016/s0040-6090(97)00135-1
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