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Unveiling the atomic-scale growth mechanisms in magnetron sputtered Al0.9Sc0.1N ferroelectric thin films
材料科学
溅射沉积
光电子学
薄膜
腔磁控管
铁电性
物理气相沉积
沉积（地质）
冶金
基质（水族馆）
作者
Jianwei Zhang,
Luyi Wang,
Ke Qu,
高招猛,
Qingfeng Zhu,
Jianchu Chen,
Yuang Chen,
Wang Haonan,
Cong Han,
Heng Xiang,
Yi Tong,
Rong Huang,
Haibo Yang,
Chungang Duan,
Zhenzhong Yang
出处
期刊：
Journal of Materials Science & Technology
[Elsevier BV]
日期：2026-10-01
标识
DOI：10.1016/j.jmst.2026.10.041
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