材料科学
飞秒
激光器
各向同性腐蚀
蚀刻(微加工)
辐照
光学
光电子学
纳米技术
物理
核物理学
图层(电子)
作者
Aleksander M. Shakhov,Artyom A. Astafiev,В. А. Надточенко
出处
期刊:Jetp Letters
[Pleiades Publishing]
日期:2019-03-01
卷期号:109 (5): 292-297
被引量:4
标识
DOI:10.1134/s0021364019050138
科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI