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Science and Technology of Integrated Super-High Dielectric Constant AlOx/TiOy Nanolaminates / Diamond for MOS Capacitors and MOSFETs

材料科学 钻石 电介质 光电子学 高-κ电介质 电容器 电容 阈值电压 MOSFET 晶体管 电压 电气工程 复合材料 电极 化学 物理化学 工程类
作者
Jiangwei Liu,Orlando Auciello,Elida de Obaldía,Bo Da,Yasuo Koide
出处
期刊：Carbon [Elsevier BV]
日期：2020-10-09 卷期号：172: 112-121 被引量：17
标识
DOI：10.1016/j.carbon.2020.10.031
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