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Amorphous SiCx:H and SiCxNy:H Films Obtained from Hexamethyldisilane Vapor in Inductively Coupled RF Discharge Plasma
化学
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分析化学（期刊）
环境化学
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物理
作者
M. N. Chagin,
Е. N. Ermakova,
Vladimir R. Shayapov,
V. S. Sulyaeva,
Е. А. Максимовский,
Irina V. Yushina,
M. L. Kosinova
出处
期刊：
High Energy Chemistry
[Pleiades Publishing]
日期：2024-11-01
卷期号：58 (6): 693-698
被引量：1
标识
DOI：10.1134/s0018143924700565
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