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Amorphous SiCx:H and SiCxNy:H Films Obtained from Hexamethyldisilane Vapor in Inductively Coupled RF Discharge Plasma

化学感应耦合等离子体无定形固体等离子体分析化学（期刊）环境化学有机化学量子力学物理

作者

M. N. Chagin,Е. N. Ermakova,Vladimir R. Shayapov,V. S. Sulyaeva,Е. А. Максимовский,Irina V. Yushina,M. L. Kosinova

出处

期刊：High Energy Chemistry [Pleiades Publishing]
日期：2024-11-01 卷期号：58 (6): 693-698 被引量：1

标识

DOI：10.1134/s0018143924700565

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