Nitridation of Metalorganic-Chemical-VaporDeposited Al<SUB>2</SUB>O<SUB>3</SUB> Gate Dielectrics by NH<SUB>3</SUB> Annealing

材料科学 电介质 光电子学
作者
Gang He,X. F. Chen,J. W. Zhang,Min Zhang,Xiaohong Chen,Z. Q. Sun,Maosong Liu,Jinpeng Lv,Jie Cui
出处
期刊:Science of Advanced Materials [American Scientific Publishers]
卷期号:6 (5): 915-922
标识
DOI:10.1166/sam.2014.1855
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