材料科学
抛光
研磨
薄脆饼
半导体
研磨
表面完整性
化学机械平面化
氮化镓
氧化物
打滑(空气动力学)
机械加工
复合材料
冶金
宽禁带半导体
载流子寿命
光电子学
残余应力
发光二极管
晶体缺陷
氮化物
镓
表面状态
作者
Fan Yang,Zhijun Chen,Yuewen Sun,Shang Gao,Renke Kang,Zhigang Dong
标识
DOI:10.1016/j.triboint.2026.112061
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