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Structural and Electrical Properties of Ga2O3 Films Deposited under Different Atmospheres by Pulsed Laser Deposition

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作者

Fabi Zhang,Haiou Li,Qi Guo

出处

期刊：Journal of Electronic Materials [Springer Science+Business Media]
日期：2018-08-13 卷期号：47 (11): 6635-6640 被引量：4

标识

DOI：10.1007/s11664-018-6545-6

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