High‐Performance and Radiation‐Hard Carbon Nanotube Complementary Static Random‐Access Memory

静态随机存取存储器 材料科学 辐射硬化 晶体管 光电子学 CMOS芯片 碳纳米管 碳纳米管场效应晶体管 纳米技术 吸收剂量 场效应晶体管 电压 辐射 电子工程 电气工程 工程类 物理 光学
作者
Maguang Zhu,Zhiyong Zhang,Lian‐Mao Peng
出处
期刊:Advanced electronic materials [Wiley]
卷期号:5 (7) 被引量:32
标识
DOI:10.1002/aelm.201900313
摘要

Abstract Significant progress on carbon‐nanotube (CNT) electronics means that they are a serious candidate for use in high‐performance integrated circuits (ICs). However, few works have focused on fabricating and exploring CNT complementary metal–oxide‐semiconductor (CMOS) static random‐access memory (SRAM), which is an integral part of most digital ICs. High‐performance complementary top‐gated field‐effect transistors (FETs) are fabricated through a doping‐free technology based on solution‐derived CNT films and are used in SRAM cells with a high yield and high uniformity. CNT CMOS‐architecture 6‐transistor (6‐T) SRAM exhibits read/write margins as high as ≈0.4 V with a supply voltage of 1.0 V and stable dynamic properties. Furthermore, the effects of radiation the CNT CMOS FETs and SRAM ICs are explored. Owing to the robust CC bonds in the CNTs, the ultrathin gate insulator layer in the devices, and a lack of a requirement for an isolation region, CNT FETs and SRAM cells can withstand a 2.2 Mrad total ionizing dose (TID) with a high rate of 560 rad s −1 , indicating that they could be used as radiation‐hard ICs for applications in hostile environments. TID hardness of CNT‐based SRAM ICs is reported for the first time, and a dose of 2.2 Mrad is the highest measured radiation dose for CNT FETs and ICs.
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