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Porous silicon-based humidity sensor with interdigital electrodes and internal heaters

材料科学薄脆饼多孔硅电极多孔性蚀刻（微加工）图层（电子）光电子学硅复合材料湿度相对湿度热力学物理物理化学化学

作者

P. Fürjes,András Kovács,Cs. Dücso xB,M. Ádám,Beat Müller,Ulrich Mescheder

出处

期刊：Sensors and Actuators B-chemical [Elsevier BV]
日期：2003-07-16 卷期号：95 (1-3): 140-144 被引量：88

标识

DOI：10.1016/s0925-4005(03)00423-4

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