Changes in surface stress, morphology and chemical composition of silica and silicon nitride surfaces during the etching by gaseous HF acid

蚀刻(微加工) 材料科学 悬臂梁 氮化硅 X射线光电子能谱 各向异性 弯曲 复合材料 图层(电子) 氮化物 表层 各向同性腐蚀 干法蚀刻 表面应力 压力(语言学) 分析化学(期刊) 表面能 光电子学 化学 化学工程 光学 工程类 语言学 色谱法 哲学 物理
作者
Johann Mertens,Éric Finot,Olivier Heintz,Marie-Hélène Nadal,V. Eyraud,Arnaud Cathelat,G. Legay,Eric Bourillot,Alain Dereux
出处
期刊:Applied Surface Science [Elsevier BV]
卷期号:253 (11): 5101-5108 被引量:7
标识
DOI:10.1016/j.apsusc.2006.11.025
最长约 10秒,即可获得该文献文件

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
biyewansuiya发布了新的文献求助10
刚刚
花影移完成签到,获得积分10
1秒前
高高行云完成签到 ,获得积分10
1秒前
An完成签到,获得积分10
1秒前
佳怡完成签到,获得积分10
3秒前
年轻薯片完成签到 ,获得积分10
3秒前
缪乾发布了新的文献求助10
3秒前
4秒前
羽言完成签到,获得积分10
4秒前
IfItheonlyone完成签到 ,获得积分10
4秒前
z7发布了新的文献求助10
4秒前
聪明怜阳发布了新的文献求助10
4秒前
lxl0823完成签到,获得积分10
6秒前
wwww完成签到,获得积分10
6秒前
6秒前
7秒前
桃释完成签到 ,获得积分10
8秒前
小杭776发布了新的文献求助10
8秒前
资诗蕊发布了新的文献求助10
9秒前
科研通AI6.1应助温暖幻灵采纳,获得10
9秒前
11秒前
11秒前
段小麻发布了新的文献求助10
11秒前
桐桐应助sunnyliu采纳,获得10
13秒前
BruceQ完成签到,获得积分10
14秒前
16秒前
在水一方应助缪乾采纳,获得10
16秒前
Lun伦发布了新的文献求助10
17秒前
科研通AI6.1应助聪明怜阳采纳,获得10
17秒前
Orange应助迅速语蕊采纳,获得10
18秒前
懵懂的树叶完成签到,获得积分20
18秒前
Ava应助段小麻采纳,获得10
19秒前
林珍发布了新的文献求助10
20秒前
20秒前
云遮月完成签到,获得积分10
21秒前
zxizx完成签到,获得积分10
21秒前
zzz发布了新的文献求助30
21秒前
zz发布了新的文献求助10
21秒前
绵绵球完成签到,获得积分0
21秒前
ahe完成签到,获得积分10
22秒前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要!!请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000
Developing Genetic Editing Tools for Lysobacter 2000
卤化钙钛矿人工突触的研究 2000
Моделирование процессов самоорганизации в кристаллообразующих системах 1000
History of U.S. Space Surveillance and Satellite Cataloging 1000
Malcolm Fraser : a biography 700
Handbook of Optical Systems,Volume 6:Advanced Physical Optics 666
热门求助领域 (近24小时)
化学 材料科学 医学 生物 纳米技术 工程类 有机化学 化学工程 生物化学 计算机科学 物理 内科学 复合材料 催化作用 物理化学 光电子学 电极 细胞生物学 基因 无机化学
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 6512988
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 8306464
关于积分的说明 17746541
捐赠科研通 5615136
什么是DOI,文献DOI怎么找? 2923992
邀请新用户注册赠送积分活动 1901150
关于科研通互助平台的介绍 1762850