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In situ slider-to-disk spacing on a nanometer scale controlled by microheater-induced slider deformations

滑块 飞行高度，飞行高度 微型加热器 制作 纺纱 材料科学 纳米 热的 光学 机械工程 复合材料 物理 工程类 医学 病理 替代医学 气象学
作者
A. Dietzel,R. Berger,P. Mächtle,M Despont,Walter Häberle,R. Stutz,G.K. Binnig,P. Vettiger,A. Dietzel,R. Berger,P. Mächtle,M Despont,Walter Häberle,R. Stutz,G.K. Binnig,P. Vettiger
出处
期刊：Sensors and Actuators A-physical [Elsevier BV]
日期：2002-08-01 卷期号：100 (1): 123-130 被引量：26
链接
tue.nl tue.nldoi.org
标识
DOI：10.1016/s0924-4247(02)00138-3
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