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Talbot photolithography optimization with engineered hybrid metal-dielectric mask: High-contrast and highly-uniform Talbot stripes

塔尔博特效应光学光刻衍射平版印刷术材料科学波长电介质振幅不透明度菲涅耳衍射光电子学物理

作者

Yu. É. Geints,Igor V. Minin,Oleg V. Minin

出处

期刊：Optics and Laser Technology [Elsevier BV]
日期：2021-12-15 卷期号：148: 107776-107776 被引量：2

链接

arxiv.org arxiv.org datacite.orgdoi.org

标识

DOI：10.1016/j.optlastec.2021.107776

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