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作者
Chenchun Shi,
Zhenzhong Wang,
Yunfeng Peng,
Pengli Lei,
Chenlei Li
出处
期刊：
Precision Engineering-journal of The International Societies for Precision Engineering and Nanotechnology
[Elsevier BV]
日期：2021-03-11
卷期号：71: 90-102
被引量：15
标识
DOI：10.1016/j.precisioneng.2021.03.004
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