Plasma dust deposition in low-pressure parallel plates reactor

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作者
Youcef Fermi,Salah Sahli,M. Kihel,Patrice Raynaud
出处
期刊:Materials Today: Proceedings [Elsevier]
卷期号:49: 1000-1002
标识
DOI:10.1016/j.matpr.2021.08.113
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