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Spectroscopic Analysis of Film Stress Mechanism in PECVD Silicon Nitride

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作者

Bo Eun Jang,Sang Jeen Hong

出处

期刊：Transactions on Electrical and Electronic Materials [Springer Science+Business Media]
日期：2018-01-29 卷期号：19 (1): 1-6 被引量：10

标识

DOI：10.1007/s42341-018-0006-z

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