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Integration of Cu/SiOC in Cu dual damascene interconnect for 0.1-μm technology

作者

M. Fayolle,J. Torrès,G. Passemard,Florence Fusalba,Gilles L. Fanget,D. Louis,M. Assous,O. Louveau,M. Rivoire,K. Haxaire,M Mourier,S. Maı̂trejean,P. Besson,Lucile Broussous,L. Arnaud,H. Feldis

出处

期刊：Microelectronic Engineering [Elsevier BV]
日期：2002-10-01 卷期号：64 (1-4): 35-42 被引量：26

标识

DOI：10.1016/s0167-9317(02)00769-4

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