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Effect of Crucible Rotational Velocity on Physical Field Distribution in 18-inch Czochralski Monocrystalline Silicon Melts
单晶硅
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作者
Wenyong Zhang,
Dedong Gao,
Shan Wang,
Zhenzhong Zhang,
Yan An,
Haohao Wu,
Haixin Lin,
Lin Hou
标识
DOI：10.1109/isset62871.2024.10779661
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