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Effect of Crucible Rotational Velocity on Physical Field Distribution in 18-inch Czochralski Monocrystalline Silicon Melts

单晶硅坩埚（大地测量学）硅材料科学领域（数学）光电子学化学数学计算化学纯数学

作者

Wenyong Zhang,Dedong Gao,Shan Wang,Zhenzhong Zhang,Yan An,Haohao Wu,Haixin Lin,Lin Hou

标识

DOI：10.1109/isset62871.2024.10779661

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