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Spatial-temporal magnetic diagnostics and numerical simulations of overshoot phenomenon in pulsed inductively coupled Ar plasmas

超调（微波通信）等离子体感应耦合等离子体计算物理学物理材料科学计算机科学核物理学电信

作者

X. R. Lyu,Ming-Liang Zhao,Kai Zhao,Fei Gao,You‐Nian Wang

出处

期刊：Vacuum [Elsevier]
日期：2025-07-25 卷期号：241: 114590-114590

标识

DOI：10.1016/j.vacuum.2025.114590

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