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In situ measurements of methane and acetylene concentrations in a CVD reactor by infrared spectroscopy
作者
Gerardo Morell,
Eda Canales,
Brad R. Weiner
出处
期刊：
Diamond and Related Materials
[Elsevier BV]
日期：1999-03-01
卷期号：8 (2-5): 166-170
被引量：19
标识
DOI：10.1016/s0925-9635(98)00343-4
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