Modified anthraquinone as a bifunctional leveler in acid copper electroplating for advanced interconnects

化学 双功能 蒽醌 电镀 化学工程 无机化学 核化学 镀铜 循环伏安法 电化学 过渡金属
作者
Haoning Zhang,Yuehui Zhai,Jiujuan Li,Shouxu Wang,Yan Hong,Guoyun Zhou,Chong Wang,Guoxing Xu,Yuxi Sun
出处
期刊:Journal of Electroanalytical Chemistry [Elsevier BV]
卷期号:1015: 120169-120169 被引量:1
标识
DOI:10.1016/j.jelechem.2026.120169

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