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Design and Fabrication of a Novel 1200 V 4H-SiC Trench MOSFET With Periodically Grounded Trench Bottom Shielding

沟槽 制作 电磁屏蔽 材料科学 MOSFET 光电子学 碳化硅 电气工程 工程类 晶体管 纳米技术 复合材料 电压 医学 替代医学 病理 图层（电子）
作者
Jun Yuan,Wei Chen,Fei Guo,Kuan Wang,Zhijie Cheng,Yangyang Wu,Shaodong Xu,Rong Zhang,Guoqing Xin,Zhiqiang Wang
出处
期刊：IEEE Transactions on Electron Devices [Institute of Electrical and Electronics Engineers]
日期：2025-01-01 卷期号：: 1-5
标识
DOI：10.1109/ted.2025.3559888
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