A distinctive atomic slipping behavior in single atomic layer removal of Cu chemical mechanical polishing

滑倒 抛光 化学机械平面化 材料科学 图层(电子) 原子力显微镜 摩擦学 复合材料 冶金 纳米技术 机械工程 工程类
作者
M.H. Wang,HongAo Yang,ZiHan Liu,Youliang Su,Bo Zhang
出处
期刊:Tribology International [Elsevier BV]
卷期号:214: 111152-111152 被引量:2
标识
DOI:10.1016/j.triboint.2025.111152
最长约 10秒,即可获得该文献文件

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
1秒前
田様的应助被曼曼采纳,获得10
1秒前
1秒前
KYTXZ完成签到,获得积分10
1秒前
叫我陈老师啊完成签到,获得积分10
2秒前
JamesPei的应助被求助求助采纳,获得10
2秒前
包容蛋挞发布了新的文献求助10
3秒前
啊啊啊啊轩完成签到,获得积分10
3秒前
zty发布了新的文献求助10
4秒前
4秒前
qwer完成签到 ,获得积分10
5秒前
俊秀的念烟完成签到,获得积分10
5秒前
子陵完成签到,获得积分10
5秒前
Akim的应助被负责的紊采纳,获得10
6秒前
张敬敬发布了新的文献求助10
6秒前
Ulrica完成签到,获得积分10
6秒前
尼禄完成签到,获得积分10
6秒前
6秒前
葵花大王发布了新的文献求助10
7秒前
那时花开的应助被青禾向暖采纳,获得10
7秒前
成就祥完成签到,获得积分10
8秒前
Akim的应助被Zzyang55采纳,获得20
8秒前
yuzuru完成签到,获得积分10
8秒前
汉堡包的应助被Xu1909采纳,获得10
9秒前
共享精神的应助被欣慰冬亦采纳,获得10
10秒前
子陵发布了新的文献求助10
10秒前
10秒前
xiaoming完成签到,获得积分10
10秒前
Lalny完成签到,获得积分20
10秒前
11秒前
11秒前
13秒前
13秒前
xiaoming发布了新的文献求助10
13秒前
14秒前
曼曼发布了新的文献求助10
14秒前
14秒前
飞鱼完成签到,获得积分10
15秒前
端庄的以柳完成签到,获得积分10
16秒前
Nakanon发布了新的文献求助10
17秒前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要!!请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000
Energie-Contracting 1500
Klimaschutzrecht durch den Energiesektor im Mehrebenensystem – Ein Rechtsvergleich 1000
Stochastic Models in Operations Research,Vol. 2 600
Organizational Behavior 510
桑白皮エキスの実験的, 臨床的育毛効果について 500
Comprehensive Heterocyclic Chemistry IV 400
热门求助领域 (近24小时)
化学 材料科学 医学 生物 纳米技术 计算机科学 工程类 有机化学 化学工程 生物化学 物理 复合材料 内科学 催化作用 光电子学 人工智能 细胞生物学 无机化学 物理化学 数学
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 8042876
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 9475426
关于积分的说明 21278600
捐赠科研通 7611145
什么是DOI,文献DOI怎么找? 3391708
关于科研通互助平台的介绍 2523321
邀请新用户注册赠送积分活动 2429596