Crystalline evolution of c-axis aligned IGZO thin films: From deposition to post-annealing

退火(玻璃) 材料科学 薄膜 沉积(地质) 化学工程 纳米技术 矿物学 结晶学 复合材料 化学 地质学 工程类 沉积物 古生物学
作者
Yi-Nung Chao,Yuan-Chieh Lu,Gui-Sheng Zeng,Sheng‐Hui Chen
出处
期刊:Optical Materials [Elsevier BV]
卷期号:167: 117287-117287 被引量:3
标识
DOI:10.1016/j.optmat.2025.117287
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