Six strategies to produce application tailored nanoscale multilayer structured PVD coatings by conventional and High Power Impulse Magnetron Sputtering (HIPIMS)

作者
P.Eh. Hovsepian,Arutiun Papken Ehiasarian
出处
期刊:Thin Solid Films [Elsevier BV]
卷期号:688: 137409-137409 被引量:37
标识
DOI:10.1016/j.tsf.2019.137409

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