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Influence of Dry and Wet Etching on AlInSb Contact Resistivity, Transfer Length, and Sheet Resistance Using Circular Transmission Model

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作者

Shawkat Ismael Jubair

出处

期刊：Journal of Electronic Materials [Springer Science+Business Media]
日期：2023-01-20 卷期号：52 (4): 2718-2721 被引量：4

标识

DOI：10.1007/s11664-023-10234-y

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