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Microstructure and properties of thin AlN coatings with different stoichiometric compositions

微观结构 化学计量学 材料科学 化学工程 冶金 复合材料 结晶学 化学 物理化学 工程类
作者
V. A. Lapitskaya,Andrey L. Nikolaev,Anastasiya Khabarava,Evgeniy Sadyrin,С. М. Айзикович,А. И. Комаров,Dmitriy V. Orda,Aleksandra Cherniavskaya,К. Г. Абдулвахидов,Anaid Azoyan,Д. А. Котов,С. А. Чижик
出处
期刊：Materials Research Bulletin [Elsevier BV]
日期：2025-02-18 卷期号：187: 113380-113380 被引量：1
标识
DOI：10.1016/j.materresbull.2025.113380
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