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Dipole Material-Independent Carrier Mobility in Dipole-First nMOS Gate Stack and Introduction of Multi-V t Patterning-Tolerant Dipole-Middle Integration for NS/CFET
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作者
H. Arimura,
Leo Lukose,
J. Stiers,
Stephan Brus,
J. Franco,
J. G. Lai,
Mohamed Ben Chroud,
C. Cavalcante,
T. Chiarella,
I. Vaesen,
T. Conard,
M. Bejide,
Jérôme Mitard,
M. S. Kim,
S. Demuynck,
L.P.B. Lima,
S. Biesemans,
N. Horiguchi
标识
DOI：10.1109/vlsitechnologyandcir65830.2026.11577418
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