Influence of the flow, etching time and reactor cleaning method on the etching rate and selectivity of reactive ion etching of SiO2 — Photoresist system

作者
Z Novotný
出处
期刊:Czechoslovak Journal of Physics [Springer Nature]
卷期号:41 (2): 191-198 被引量:2
标识
DOI:10.1007/bf01598139

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
Sci拖鞋完成签到 ,获得积分10
刚刚
闪闪的坤完成签到,获得积分10
刚刚
1秒前
小马甲应助12345656656采纳,获得10
1秒前
dhdh发布了新的文献求助10
1秒前
田様应助木木采纳,获得10
2秒前
大奎发布了新的文献求助10
3秒前
李健的小迷弟应助蒋蒋采纳,获得10
4秒前
4秒前
4秒前
4秒前
研友_VZG7GZ应助科研通管家采纳,获得10
4秒前
小二郎应助科研通管家采纳,获得10
4秒前
畔畔应助科研通管家采纳,获得30
5秒前
5秒前
njw应助科研通管家采纳,获得30
5秒前
5秒前
李爱国应助科研通管家采纳,获得10
5秒前
5秒前
ding应助科研通管家采纳,获得10
5秒前
什么时候能毕业完成签到,获得积分10
6秒前
6秒前
吃吃吃发布了新的文献求助10
7秒前
7秒前
wz发布了新的文献求助10
8秒前
尹冰露发布了新的文献求助10
8秒前
梁三柏发布了新的文献求助10
8秒前
潘潘发布了新的文献求助10
8秒前
8秒前
8秒前
9秒前
9秒前
9秒前
FashionBoy应助衡阳采纳,获得10
9秒前
1122发布了新的文献求助10
9秒前
清水完成签到 ,获得积分10
9秒前
mojomars完成签到,获得积分10
11秒前
11秒前
11秒前
Zhong发布了新的文献求助10
12秒前
高分求助中
Markov Chain Monte Carlo 10000
(应助此贴封号)【重要!!请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000
Common Foundations of American and East Asian Modernisation: From Alexander Hamilton to Junichero Koizumi 2000
Advanced Weaponeering Fourth Edition, Volume 2 1000
Weaponeering: An Introduction Fourth Edition, Volume 1 1000
Curating Socialism: A Handbook of International Art Exhibitions 1947-1989 750
悉尼大学博士学位论文,题目:Modelling and testing of one-sided stitched laminated composites. 作者:Kristopher P. Plain 700
热门求助领域 (近24小时)
化学 材料科学 医学 生物 纳米技术 工程类 有机化学 化学工程 生物化学 计算机科学 内科学 物理 复合材料 催化作用 细胞生物学 无机化学 光电子学 物理化学 电极 基因
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 7532518
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 9118090
关于积分的说明 19477538
捐赠科研通 7132554
什么是DOI,文献DOI怎么找? 3256613
关于科研通互助平台的介绍 2424246
邀请新用户注册赠送积分活动 2244447