Influence of the flow, etching time and reactor cleaning method on the etching rate and selectivity of reactive ion etching of SiO2 — Photoresist system

作者
Z. Novotný
出处
期刊:Czechoslovak Journal of Physics [Springer Nature]
卷期号:41 (2): 191-198 被引量:2
标识
DOI:10.1007/bf01598139

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