Characterization of tantalum oxide films grown by pulsed laser deposition

材料科学 表征(材料科学) 脉冲激光沉积 沉积(地质) 氧化物 激光器 薄膜 冶金 纳米技术 光电子学 光学 沉积物 生物 物理 古生物学
作者
S. Boughaba,M. U. Islam,G. I. Sproule,M. J. Graham
出处
期刊:Surface & Coatings Technology [Elsevier BV]
卷期号:120-121: 757-764 被引量:19
标识
DOI:10.1016/s0257-8972(99)00371-0
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