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作者
T. Kolb,
Thorsten Kroker,
Jan H. Voigt,
Karl‐Heinz Gericke
出处
期刊:
Plasma Chemistry and Plasma Processing
[Springer Science+Business Media]
日期:2012-09-12
卷期号:32 (6): 1139-1155
被引量:21
标识
DOI:10.1007/s11090-012-9411-y
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