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Electromigration behavior of dual-damascene Cu interconnects––Structure, width, and length dependences
作者
Anand V. Vairagar,
Subodh G. Mhaisalkar,
Ahila Krishnamoorthy
出处
期刊:
Microelectronics Reliability
[Elsevier BV]
日期:2004-02-29
卷期号:44 (5): 747-754
被引量:81
标识
DOI:10.1016/j.microrel.2003.12.011
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