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Characterization of post-etched photoresist and residues by various analytical techniques
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作者
Alexis Franquet,
M. Claes,
Thierry Conard,
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Guy Vereecke,
W. Vandervorst
出处
期刊：
Applied Surface Science
[Elsevier BV]
日期：2008-06-25
卷期号：255 (4): 1408-1411
被引量：7
标识
DOI：10.1016/j.apsusc.2008.06.053
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