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Using silicon molds for ultrasonic embossing on Polymethyl Methacrylate (PMMA) substrates

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作者
Na Qi,Yi Luo,Yan Xu,Xiaodong Wang,Liding Wang
出处
期刊：Microsystem Technologies-micro-and Nanosystems-information Storage and Processing Systems [Springer Science+Business Media]
日期：2012-10-04 卷期号：19 (4): 609-616 被引量：12
标识
DOI：10.1007/s00542-012-1671-1
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