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Exploring Ru Compatibility With Al-Ge Eutectic Wafer Bonding

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作者
Mark W. J. Ferguson,Mohamed Najah,Frederic A. Banville,Mohamed Boucherit,Paul Gond-Charton,Jacques Renaud,Luc G. Fréchette,François Boone,Serge Ecoffey,Serge A. Charlebois
出处
期刊：Journal of microelectromechanical systems [Institute of Electrical and Electronics Engineers]
日期：2022-04-20 卷期号：31 (4): 599-603 被引量：1
链接
hal.science hal.sciencedoi.org
标识
DOI：10.1109/jmems.2022.3165716
摘要
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