Optimization of sputtering parameters for Ni–Cr alloy deposition on copper foil as embedded thin film resistor

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作者
Lifei Lai,Wenjin Zeng,Xian‐Zhu Fu,Rong Sun,Ruxu Du
出处
期刊:Surface & Coatings Technology [Elsevier BV]
卷期号:218: 80-86 被引量:33
标识
DOI:10.1016/j.surfcoat.2012.12.030
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