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Enhanced Passivation of Boron‐Doped Polysilicon Passivated Contacts With a Single‐Sided J 0 of 2.8 fA/cm 2 by Dual‐Layer Silicon Oxide Structure

材料科学 钝化 光电子学 接口(物质) 氧化物 冶金 纳米技术 电流密度 蚀刻(微加工)
作者
Lizhen Shui,Lina Ye,Hailong Zhang,Shengjie Guan,Zhenhai Yang,Huan Pu,Sheshicheng Chen,Haojiang Du,Hongkai Zhou,Na Lin,Mingdun Liao,Liu W,Zhiqin Ying,Xi Yang,Chuanxiao Xiao,Hisham Nasser,Eni Muka,Raşit Turan,Zunke Liu,Yuheng Zeng
出处
期刊:Small [Wiley]
卷期号:: e73603-e73603
标识
DOI:10.1002/smll.73603
摘要

architecture effectively lowers interface defect density and enhances p-type TOPCon passivation, underscoring its significant potential for industrial application in high-efficiency TBC cells.
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