Vibration-enhanced RF-biased inductively coupled plasma fluidized bed for depositing diamond-like carbon on powders

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作者
Zhijun Ai,Zhicheng Wu,Qingzhe Zhu,Z. An,Le Feng,Qiaogen Zhang
出处
期刊:Chemical Engineering Journal [Elsevier BV]
卷期号:511: 162235-162235 被引量:3
标识
DOI:10.1016/j.cej.2025.162235
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