Transparent Flat Panel X-Ray Source Using ITO Transmission Anode and ZnO Nanowire Cold Cathode

阴极 材料科学 阳极 光电子学 氧化铟锡 透射率 光学 纳米线 可见光谱 冷阴极 X射线 平板 电极 纳米技术 物理 薄膜 电气工程 工程类 量子力学
作者
Song Kang,Yicong Chen,Chengyun Wang,Guofu Zhang,Shaozhi Deng,Jun Chen
出处
期刊:IEEE Transactions on Electron Devices [Institute of Electrical and Electronics Engineers]
卷期号:70 (6): 3302-3307 被引量:9
标识
DOI:10.1109/ted.2023.3267757
摘要

X-ray sources have important applications in medical diagnosis, industrial inspection, etc. Transparent X-ray source has not been reported before, which enables the applications such as simultaneous imaging using X-ray and visible light. In this article, a fully vacuum-encapsulated transparent flat-panel X-ray source was prepared by using ZnO nanowires cold cathode and indium-tin-oxide (ITO) transmission anode. The effect of thicknesses of ITO film on X-ray radiation intensity was studied. A radiation dose rate of 6.85 mGy/s measured at 5 cm in front of the flat-panel X-ray source (FPXS) under 48-kV anode voltage and an optical transmittance of 72.63% at 550-nm light were achieved. X-ray spectra show the indium is the main element to generate the X-ray. By adopting the device in an X-ray and visible light dual-functional inspection set-up, the X-ray and visible light imaging of objects were demonstrated simultaneously.
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