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Characterization of deep-level defects in highly-doped silicon with asymmetric structure by transient capacitance spectroscopy

深能级瞬态光谱 材料科学 光激发 硅 光电子学 半导体 兴奋剂 电容 光电流 光谱学 分子物理学 原子物理学 化学 物理化学 物理 量子力学 激发态 电极
作者
Chixian Liu,Wei Dou,Changyi Pan,Ziwei Yin,Xiaoyan Liu,Jingwei Ling,T.M. Chen,Yufeng Shan,Jiaqi Zhu,Huiyong Deng,Ning Dai
出处
期刊：Journal of Materials Science [Springer Science+Business Media]
日期：2023-06-26 卷期号：58 (26): 10651-10659
标识
DOI：10.1007/s10853-023-08675-1
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